发明授权
- 专利标题： 硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法
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申请号： CN201410138529.X申请日： 2014-04-08
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公开(公告)号： CN103938182B公开(公告)日： 2016-05-04
- 发明人: 王亮 , 孙方宏 , 张文骅 , 沈彬 , 郭睿 , 张志明 , 郭松寿
- 申请人： 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司 , 苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
- 申请人地址： 上海市闵行区东川路800号
- 专利权人： 上海交通大学,上海交友钻石涂层有限公司,苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
- 当前专利权人： 上海交通大学,上海交友钻石涂层有限公司,苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市闵行区东川路800号
- 代理机构： 上海汉声知识产权代理有限公司
- 代理商 牛山; 陈少凌
- 主分类号： C23C16/30
- IPC分类号： C23C16/30
摘要：
本发明公开了一种硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法；以热丝CVD装置为沉积设备，在传统的氢气与丙酮反应体系中加中含硼及含氮化合物，形成共掺杂体系，调节反应工艺参数，制备出纳米金刚石颗粒与定向金刚石颗粒共存的薄膜。该方法工艺流程简单，获得的薄膜具有比随机取向微米级金刚石薄膜平整的表面，耐磨损性高且均一，易抛光、内应力低以及膜基附着力高等特点。
公开/授权文献
- CN103938182A 硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法 公开/授权日：2014-07-23
IPC分类:
