Invention Grant
CN103882375B 一种掩膜板及其制作方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 一种掩膜板及其制作方法
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Application No.: CN201410090890.XApplication Date: 2014-03-12
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Publication No.: CN103882375BPublication Date: 2016-03-09
- Inventor: 马群 , 元裕太 , 贾敏慧
- Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 , 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
- Applicant Address: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- Assignee: 京东方科技集团股份有限公司,鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
- Current Assignee: 京东方科技集团股份有限公司,鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
- Current Assignee Address: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- Agency: 北京中博世达专利商标代理有限公司
- Agent 申健
- Main IPC: C23C14/04
- IPC: C23C14/04

Abstract:
本发明实施例公开了一种掩膜板及其制作方法,涉及显示技术领域,使得使用该掩膜板形成的特定结构的尺寸较小。该掩膜板包括相对的第一面和第二面,所述掩膜板上设置有开口结构,所述开口结构在所述掩膜板的第一面的图形与所述开口结构在所述掩膜板的第二面的图形部分交叠,交叠区域为通孔。
Public/Granted literature
- CN103882375A 一种掩膜板及其制作方法 Public/Granted day:2014-06-25
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