一种痕量气体集成探测器的流量匹配气路
Abstract:
一种痕量气体集成探测器的匹配气路,属于气体传感器/探测器技术领域。包括一个富集器、一个微型色谱柱、一个气体传感器、两个气泵和一个三通阀,并利用一个电路板控制各个部件的工作状态;其中,富集器、三通阀、微型色谱柱、气体传感器和气泵2依次串联,形成主气路,同时在三通阀处分出支气路和气泵1连接,气泵1的抽气速度大于气泵2的抽气速度,支气路的管径大于主气路的管径。本发明根据痕量气体集成探测器中富集器和色谱工作时对气体流量的不同需求,设计了主、支两个气路,并利用三通阀进行转换,具有结构简单,易于实现的特点。
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