一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构
摘要:
本发明涉及一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构,包括相对布置的上部本体和下部本体,其上均设置反射凹槽,两相邻反射凹槽之间设置隔板,上部本体的反射凹槽的中心位置处对应下部本体的隔板位置处,下部本体的反射凹槽的中心位置处对应上部本体的隔板位置处,光源、探测器分别布置在上部本体和下部本体的边角处,上部本体和下部本体共同围成由光源到探测器的光学路径。本发明由于优化结构从而减小了尺寸,用微组装来实现也能使其整体尺寸在1cm×1cm。另外,因为是小尺寸器件,所以可以使用MEMS工艺进行制作,可使此类传感器大大降低成本,同时MEMS工艺可以做到降低产品个体差异性,从而达到批量生产的目的。
公开/授权文献
0/0