- 专利标题: 一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构
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申请号: CN201410048364.7申请日: 2014-02-12
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公开(公告)号: CN103822891B公开(公告)日: 2016-04-20
- 发明人: 陶春辉 , 李淼 , 张健 , 高会议 , 董俊 , 李华龙 , 郑守国
- 申请人: 无锡中科智能农业发展有限责任公司 , 中国科学院合肥物质科学研究院
- 申请人地址: 江苏省无锡市锡山区无锡现代高科技农业示范园
- 专利权人: 无锡中科智能农业发展有限责任公司,中国科学院合肥物质科学研究院
- 当前专利权人: 无锡中科智能农业发展有限责任公司,中国科学院合肥物质科学研究院
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市锡山区无锡现代高科技农业示范园
- 代理机构: 合肥天明专利事务所
- 代理商 奚华保
- 主分类号: G01N21/3504
- IPC分类号: G01N21/3504 ; G01N21/01
摘要:
本发明涉及一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构,包括相对布置的上部本体和下部本体,其上均设置反射凹槽,两相邻反射凹槽之间设置隔板,上部本体的反射凹槽的中心位置处对应下部本体的隔板位置处,下部本体的反射凹槽的中心位置处对应上部本体的隔板位置处,光源、探测器分别布置在上部本体和下部本体的边角处,上部本体和下部本体共同围成由光源到探测器的光学路径。本发明由于优化结构从而减小了尺寸,用微组装来实现也能使其整体尺寸在1cm×1cm。另外,因为是小尺寸器件,所以可以使用MEMS工艺进行制作,可使此类传感器大大降低成本,同时MEMS工艺可以做到降低产品个体差异性,从而达到批量生产的目的。
公开/授权文献
- CN103822891A 一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构 公开/授权日:2014-05-28
IPC分类: