发明授权
- 专利标题: 双相清洁室以及包括双相清洁室的组件
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申请号: CN201280035797.8申请日: 2012-07-13
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公开(公告)号: CN103748971B公开(公告)日: 2016-10-12
- 发明人: 阿尔曼·阿沃杨 , 克利夫·拉克鲁瓦 , 石洪
- 申请人: 朗姆研究公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 朗姆研究公司
- 当前专利权人: 朗姆研究公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 上海胜康律师事务所
- 代理商 李献忠
- 优先权: 13/186,827 2011.07.20 US
- 国际申请: PCT/US2012/046579 2012.07.13
- 国际公布: WO2013/012693 EN 2013.01.24
- 进入国家日期: 2014-01-20
- 主分类号: H05H1/34
- IPC分类号: H05H1/34 ; H01L21/3065 ; C23C16/505
摘要:
在一实施方式中,双相清洁室可包括湍流混合室、流体扩散器、等静压室和破裂减轻喷嘴。所述湍流混合室可与第一流体入口和第二流体入口流体连通。所述流体扩散器可与所述湍流混合室流体连通。所述破裂减轻喷嘴可包括第一流体收集支管、第二流体收集支管和位移阻尼突起部。所述位移阻尼突起部可设置在所述第一流体收集支管和所述第二流体收集支管之间且可自所述第一流体收集支管和所述第二流体收集支管中的每一个偏移,且朝向所述流体扩散器。从所述第一流体入口、所述第二流体入口、或者从该二者引入的加压清洁流体流过所述第一流体收集支管和所述第二流体收集支管的所述出口通道。
公开/授权文献
- CN103748971A 双相清洁室以及包括双相清洁室的组件 公开/授权日:2014-04-23
IPC分类: