- 专利标题: 显示面板的垂直式薄膜晶体管结构及其制作方法
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申请号: CN201210392837.6申请日: 2012-10-16
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公开(公告)号: CN103730508B公开(公告)日: 2016-08-03
- 发明人: 张荣芳 , 张民杰 , 赖瑞麒
- 申请人: 瀚宇彩晶股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新北市
- 专利权人: 瀚宇彩晶股份有限公司
- 当前专利权人: 瀚宇彩晶股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新北市
- 代理机构: 深圳新创友知识产权代理有限公司
- 代理商 江耀纯
- 主分类号: H01L29/786
- IPC分类号: H01L29/786 ; H01L21/336
摘要:
本发明公开了一种垂直式薄膜晶体管结构,其包含有一基板、一源极电极、一绝缘层、一漏极电极、两个第一信道层、栅极绝缘层以及一栅极电极。源极电极、绝缘层以及漏极电极依序设置于基板上。第一信道层分别设置于漏极电极的两相对侧,并从漏极电极的上表面延伸至源极电极的上表面,且各第一信道层与源极电极以及漏极电极相接触。栅极绝缘层覆盖于源极电极、第一信道层以及漏极电极上。栅极电极设置于栅极绝缘层上,并覆盖第一信道层。借此,薄膜晶体管结构的大小可被缩小,且占像素结构大小的比例也随之下降。
公开/授权文献
- CN103730508A 显示面板的垂直式薄膜晶体管结构及其制作方法 公开/授权日:2014-04-16
IPC分类: