在用于根据POD方法来制造光学预制体的等离子体沉积方法中，由掺杂氟的石英玻璃制成的护套玻璃层借助等离子体喷枪在围绕着其纵轴线旋转的、柱状的、由石英玻璃制成的基底体上产生。在此，所述等离子体喷枪在两个转向点（A、B）之间沿着所述基底体进行可逆的相对运动。为了基于此在掺杂物沿轴向尽可能均匀分布的情况下实现高的氟掺杂，按照本发明提出，热元件对其中一个转向点（A、B）的区域进行热作用，当所述等离子体喷枪处于另一个转向点（B、A）的区域中时。