一种具有微探针的半导体装置及其制法，该半导体装置包括：基板，其具有相对的第一表面与第二表面；第一线路层，其形成于该基板的第一表面上；第一介电层，其形成于该基板的第一表面与该第一线路层上，并具有外露该第一线路层的第一开孔；第二线路层，其形成于该第一介电层上与该第一开孔中；绝缘缓冲层，其形成于该第一介电层与该第二线路层上，且具有至少一外露该第二线路层的绝缘缓冲层开孔；第三线路层，其形成于该绝缘缓冲层上与该绝缘缓冲层开孔中；第二介电层，其形成于该绝缘缓冲层与该第三线路层上，且具有至少一外露该第三线路层的第二开孔；以及微探针，设于该第二介电层的第二开孔中。本发明可有效缓冲微探针所受外力并避免弹性疲劳。