具有可移动的门极的微机械传感器装置和相应的制造方法
Abstract:
本发明实现了一种具有移动的门极的微机械传感器装置和一种相应的制造方法。所述具有移动的门极的微机械传感器装置具有场效应晶体管,所述场效应晶体管具有漏极区域(3)、源极区域(4)、位于两者之间的带有第一掺杂类型的通道区域(7)以及可移动的门极(1),所述可移动的门极通过一间隙(Z)与所述通道区域(7)分隔开。所述漏极区域(3)、源极区域(4)和通道区域(7)布置在基体(2)中。在所述基体(2)中,至少在所述通道区域(7)的纵向侧面(S1、S2)上设有氧化区域(8;8a、8b)中。
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