发明公开
CN103608287A 在气相中制备三甲硅烷基胺的方法
无效 - 撤回
- 专利标题： 在气相中制备三甲硅烷基胺的方法
- 专利标题（英）： Method for producing trisilylamine in the gas phase
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申请号： CN201280023869.7申请日： 2012-04-26
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公开(公告)号： CN103608287A公开(公告)日： 2014-02-26
- 发明人: J·德林 , H·劳莱德 , I·伦特-里格 , W·乌利希 , U·克尼彭贝格
- 申请人： 赢创德固赛有限公司
- 申请人地址： 德国埃森
- 专利权人： 赢创德固赛有限公司
- 当前专利权人： 赢创德固赛有限公司
- 当前专利权人地址： 德国埃森
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 石克虎; 林森
- 优先权： 102011075974.3 2011.05.17 DE
- 国际申请： PCT/EP2012/057634 2012.04.26
- 国际公布： WO2012/156191 DE 2012.11.22
- 进入国家日期： 2013-11-15
- 主分类号： C01B21/087
- IPC分类号： C01B21/087
摘要：
本发明涉及—种在气相中由氨和一氯甲硅烷制备三甲硅烷基胺的方法。本发明进一步涉及一种可实施该方法的设备。
