一种二自由度高精度大行程气浮工件台
摘要:
本发明公开了一种二自由度高精度大行程气浮工件台,包括大理石底座,X向运动台,Y向运动台;所述大理石底座位于X向运动台和Y向运动台的底部,用于支撑整个X向运动台和Y向运动台;Y向运动台架设在X向运动台上,Y向运动台、X向运动台通过X向运动台的X横梁实现耦合,完成X向运动向Y向运动台传递,使该工件台具有XY两自由度运动功能;Y向运动台架在X向运动台上,构成一个“H”型两自由度大行程气浮工件台;该工件台采用了直线电机驱动和无摩擦的气浮导轨导向,使系统可以实现高速度,大行程的运动和高精度的定位。
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