发明公开
CN103592824A 一种二自由度高精度大行程气浮工件台
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种二自由度高精度大行程气浮工件台
- 专利标题(英): Two-degree-of-freedom high-precision large-stroke air-bearing workpiece platform
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申请号: CN201310630092.7申请日: 2013-11-29
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公开(公告)号: CN103592824A公开(公告)日: 2014-02-19
- 发明人: 周清华
- 申请人: 中国科学院光电技术研究所
- 申请人地址: 四川省成都市双流350信箱
- 专利权人: 中国科学院光电技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院光电技术研究所
- 当前专利权人地址: 四川省成都市双流350信箱
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 宋焰琴
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20
摘要:
本发明公开了一种二自由度高精度大行程气浮工件台,包括大理石底座,X向运动台,Y向运动台;所述大理石底座位于X向运动台和Y向运动台的底部,用于支撑整个X向运动台和Y向运动台;Y向运动台架设在X向运动台上,Y向运动台、X向运动台通过X向运动台的X横梁实现耦合,完成X向运动向Y向运动台传递,使该工件台具有XY两自由度运动功能;Y向运动台架在X向运动台上,构成一个“H”型两自由度大行程气浮工件台;该工件台采用了直线电机驱动和无摩擦的气浮导轨导向,使系统可以实现高速度,大行程的运动和高精度的定位。
公开/授权文献
- CN103592824B 一种二自由度高精度大行程气浮工件台 公开/授权日:2015-04-22
IPC分类: