Invention Publication
CN103460527A 垂直耦合表面蚀刻光栅分布反馈激光器
无效 - 撤回
- Patent Title: 垂直耦合表面蚀刻光栅分布反馈激光器
- Patent Title (English): Vertically-coupled surface-etched grating DFB laser
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Application No.: CN201080070812.3Application Date: 2010-11-02
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Publication No.: CN103460527APublication Date: 2013-12-18
- Inventor: 克里斯托弗·沃特森 , 基里尔·皮梅诺夫 , 瓦莱丽·托斯汀基 , 吴芳 , 尤芮·隆戈维
- Applicant: 奥尼奇普菲托尼克斯有限公司
- Applicant Address: 加拿大安大略省渥太华市
- Assignee: 奥尼奇普菲托尼克斯有限公司
- Current Assignee: 奥尼奇普菲托尼克斯有限公司
- Current Assignee Address: 加拿大安大略省渥太华市
- Agency: 深圳市博锐专利事务所
- Agent 张明
- International Application: PCT/CA2010/001737 2010.11.02
- International Announcement: WO2012/058742 EN 2012.05.10
- Date entered country: 2013-06-20
- Main IPC: H01S5/12
- IPC: H01S5/12 ; H01L33/00

Abstract:
本发明提供一种与MGVI设计和制造方法完全兼容的LCSEG-DFB激光器,用于多功能PIC内的单增长单片集成电路。其包括台面形式的激光器PIN结构,从上发射层顶面通过有源,假定为MQW、增益区向下蚀刻至下发射器顶面。下部电触头邻近台面设置,台面设在下发射层,上接触带设在台面顶部上的上发射层。从台面顶面、上接触带之间,穿过上发射层,向下蚀刻入SCH层,限定/蚀刻成了SEG。SCH结构提供了垂直约束,台面底部中的侧面提供了横向约束。导模通过垂直翼穿透SEG及与SEG消散消散场耦合实现与SEG的相互作用。
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