本发明的实施方式大体上提供一种由紧固在一起的多个板所制成的喷淋头组件。所述喷淋头组件包括气体歧管，所述气体歧管由顶板与中间板界定，且所述喷淋头组件还包括分流板，所述分流板由中间板与热交换底板界定。第一处理气体进入气体歧管，并且由分流板分流通过底板。第二处理气体进入气体歧管，并且由分流板分流通过底板，如此使得第一气体与第二气体不会在离开喷淋头之前混合。一个实施方式中，可以于不同的流量和/或压力下分配第一处理气体通过喷淋头的中央区域与外侧区域。此外，可以于不同的流量和/或压力下分配第二处理气体通过喷淋头的中央区域与外侧区域。