微型光谱仪及其制备装配方法
摘要:
本发明涉及一种微型光谱仪及其制备装配方法。该微型光谱仪,包括狭缝、玻璃平板、球面反射镜和光电探测器,所述玻璃平板的上表面刻有像差校正光栅,所述光电探测器安装于所述玻璃平板的下表面,且所述光电探测器位于光谱的焦平面上;入射光通过所述狭缝照射到所述玻璃平板上表面的像差校正光栅进行分光形成衍射光,所述衍射光从所述像差校正光栅出射经过所述球面反射镜聚焦,会聚在所述玻璃平板下表面的所述光电探测器上。上述微型光谱仪及其制备装配方法,其中,微型光谱仪与切尼-特纳结构的光谱仪相比,仅需一面球面反射镜,有利于减小微型光谱仪的体积。
公开/授权文献
0/0