发明授权
- 专利标题： 可自成像成膜聚合物、其组合物以及由其制得的器件和结构
-
申请号： CN201180056522.8申请日： 2011-11-23
-
公开(公告)号： CN103370347B公开(公告)日： 2016-08-10
- 发明人: 大治 , 阳雄池田 , L·F·罗德斯 , P·坎达纳拉彻驰
- 申请人： 普罗米鲁斯有限责任公司 , 住友电木株式会社
- 申请人地址： 美国俄亥俄
- 专利权人： 普罗米鲁斯有限责任公司,住友电木株式会社
- 当前专利权人： 住友电木株式会社
- 当前专利权人地址： 美国俄亥俄
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 杨立芳
- 优先权： 61/416,950 2010.11.24 US
- 国际申请： PCT/US2011/062013 2011.11.23
- 国际公布： WO2012/071496 EN 2012.05.31
- 进入国家日期： 2013-05-24
- 主分类号： C08F222/06
- IPC分类号： C08F222/06 ; C08F220/52 ; C08F210/14 ; G03F7/038
摘要：
聚合物和包含此种聚合物的形成可自成像膜的组合物，此种聚合物包含具有至少一个酚类官能团的降冰片烯型重复单元和马来酸酐型重复单元，其可以配制为正色调成像或负色调成像。据此形成的膜可用作微电子器件，例如半导体，和光电子器件制造中的可自成像层。
公开/授权文献
- CN103370347A 可自成像成膜聚合物、其组合物以及由其制得的器件和结构 公开/授权日：2013-10-23
IPC分类:
