具有集成在其中的沟槽电容器结构的半导体装置
摘要:
描述了半导体装置,其包含集成在其中的电容器。在一实施例中,半导体装置包含基板。基板包含多个电容器区,比如邻近彼此的第一电容器区和第二电容器区。每个电容器区包含形成在基板内的沟槽。金属-绝缘体-金属电容器形成在沟槽内并且至少部分地位于基板上方。设置在第一电容器区内的沟槽至少基本上垂直于设置在第二电容器区内的沟槽。
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