发明授权
- 专利标题： 用于疏油涂层的直接液体汽化
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申请号： CN201280008268.9申请日： 2012-02-10
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公开(公告)号： CN103348033B公开(公告)日： 2016-02-10
- 发明人: D·J·韦伯 , 松雪直人
- 申请人： 苹果公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚
- 专利权人： 苹果公司
- 当前专利权人： 苹果公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 边海梅
- 优先权： 13/024,964 2011.02.10 US
- 国际申请： PCT/US2012/024728 2012.02.10
- 国际公布： WO2012/109591 EN 2012.08.16
- 进入国家日期： 2013-08-09
- 主分类号： C23C14/12
- IPC分类号： C23C14/12 ; C23C14/24 ; C23C14/56
摘要：
本发明涉及用于通过使用PVD处理在电子装置部件的表面上沉积疏油成分的液体汽化处理。包含疏油成分的原液体材料可被放在与真空室耦接的液体供给系统中。液体供给系统可通过不活泼气体被加压以防止疏油成分与空气之间的不希望的化学反应。包含疏油成分的液体可在到达汽化单元之前汽化，并且，疏油成分可沉积于部件上。
公开/授权文献
- CN103348033A 用于疏油涂层的直接液体汽化 公开/授权日：2013-10-09
IPC分类:
