本发明涉及微波物料处理技术。本发明所公开了一种微波物料处理设备，能够避免介质隔板被污染。本发明的技术方案是，微波物料处理设备，包括盛物箱、波导和微波源，所述波导分别与盛物箱和微波源连接，所述微波源发射的微波通过波导输入盛物箱，所述盛物箱与波导之间设置有介质隔板，用于传输微波并隔离微波源，所述盛物箱连接有排气装置，所述介质隔板设置在波导中，所述介质隔板与盛物箱之间有一段距离，在介质隔板与盛物箱之间的一段波导上连接有输气管道，所述输气管道用于向波导中输入气体，在该段波导中产生高于盛物箱的气压。本发明彻底解决了微波介质窗被污染这一实际工业应用问题，解除了由此产生的安全隐患。