超净工作台及单晶硅用原料的制造方法
Abstract:
本发明涉及超净工作台及单晶硅用原料的制造方法。本发明提供一种超净工作台,其具备承载多晶硅的操作台;具有相对于上述操作台的上方操作空间包围除了前面之外的三面的侧板和覆盖这些侧板上方的顶板的箱体;将上述洁净空气离子化,除去上述操作台上的静电的电离器,在上述箱体的上述顶板上形成有向上述电离器和上述操作台的上面提供洁净空气的供给孔,在上述箱体的上述侧板上形成有抽吸上述操作空间内的空气的抽吸孔。
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