超声波换能器元件芯片、探测器以及电子设备
摘要:
本发明提供了超声波换能器元件芯片、探测器以及电子设备,该超声波换能器元件芯片具备:基板,将多个开口配置为阵列状;超声波换能器元件,设置于多个所述开口中的每个所述开口;板状部件,被固定在所述基板的设置有所述超声波换能器元件的面的相反侧的面上,从所述基板的厚度方向俯视观察,覆盖多个所述开口的至少一个以上,多个所述开口之间的隔壁部的壁厚小于壁高。
公开/授权文献
0/0