线性马达、元件安装装置以及元件检查装置
摘要:
本发明涉及线性马达、元件安装装置及元件检查装置,该线性马达具备以一个包括励磁件的动子(44)和一个包括电枢的定子(42)为一组的单位单元(40),并且能够并列设置多个单位单元。该线性马达包括收容单位单元的由非磁性体构成的框架(30)、设置在框架中的屏蔽部件(500)及形成在屏蔽部件上的开口部(501)。屏蔽部件由磁性体构成,在设置有多个单位单元的情况下介于相邻的单位单元间。屏蔽部件在励磁件远离电枢的线圈(422)的位置处将相邻的单位单元屏蔽。另一方面,开口部将收容在该框架中的电枢的线圈开放。由此,线圈在面临开口部的位置处与励磁件直接相向,因此在励磁件与电枢之间形成的磁场维持高的有效磁通量。
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