Invention Grant
- Patent Title: 用于控制物体的温度的设备及设施
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Application No.: CN201180053189.5Application Date: 2011-10-26
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Publication No.: CN103201577BPublication Date: 2016-08-17
- Inventor: 赫尔曼-约瑟夫·戴维 , 埃贡·卡斯克
- Applicant: 杜尔艾科克林有限公司
- Applicant Address: 德国菲尔德施塔特
- Assignee: 杜尔艾科克林有限公司
- Current Assignee: 埃克科林有限公司
- Current Assignee Address: 德国菲尔德施塔特
- Agency: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- Agent 蔡石蒙; 车文
- Priority: 102010043522.8 2010.11.05 DE
- International Application: PCT/EP2011/068780 2011.10.26
- International Announcement: WO2012/059384 DE 2012.05.10
- Date entered country: 2013-05-03
- Main IPC: F26B9/06
- IPC: F26B9/06 ; F26B21/00 ; F26B21/04 ; F26B25/00 ; F26B25/06
Abstract:
本发明涉及一种用于在清洁处理之后控制物体、具体地是工件(16)的温度的设备(10)，所述设备具有被形成为冷却区和/或加热区的温控区(14)，气态流体能够在该温控区中绕所述物体循环。根据本发明，所述温控区(14)被形成在腔室(12)中，所述腔室(12)能够经受引入到所述腔室(12)中的流体流(58)。
Public/Granted literature
- CN103201577A 用于控制物体的温度的设备及设施 Public/Granted day:2013-07-10
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IPC分类:
