发明公开
- 专利标题: 带有用于吹入气态流体的装置的加工腔
- 专利标题(英): Process chamber with device for injecting gaseous fluid
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申请号: CN201180052489.1申请日: 2011-09-16
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公开(公告)号: CN103189702A公开(公告)日: 2013-07-03
- 发明人: 迪特马尔·威兰 , 奥利弗·伊格劳尔 , 克里斯托夫·克尼赛尔 , 马里厄斯·温克勒
- 申请人: 杜尔系统有限公司
- 申请人地址: 德国比蒂希海姆-比辛根
- 专利权人: 杜尔系统有限公司
- 当前专利权人: 杜尔系统股份公司
- 当前专利权人地址: 德国比蒂希海姆-比辛根
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 车文; 张建涛
- 优先权: 102010043087.0 2010.10.28 DE
- 国际申请: PCT/EP2011/066154 2011.09.16
- 国际公布: WO2012/055634 DE 2012.05.03
- 进入国家日期: 2013-04-28
- 主分类号: F26B15/14
- IPC分类号: F26B15/14 ; F26B21/04 ; F26B25/00
摘要:
本发明涉及带有内部空间(39)的加工腔(5)。在内部空间(39)中具有用于工件(3)的容纳区域(15)。加工腔(5)具有用于工件(3)的输入或输出的开孔(12、14)。加工腔包括用于将气态流体吹入内部空间(39)的装置(17、19、25、29、33、37、35)。用于将气态流体吹入的装置具有至少一个喷嘴(17、19),用以形成开孔(12、14)与用于工件(3)的容纳区域之间的流体流屏障(21、23)。
公开/授权文献
- CN103189702B 加工腔及其运行方法和干燥和/或硬化和/或上漆设备 公开/授权日:2016-02-03
IPC分类: