发明授权
CN103176372B 基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微检测装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微检测装置
- 专利标题（英）： Bifocal wave zone plate interference microscopic-inspection device based on phase grating light splitting
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申请号： CN201310089788.3申请日： 2013-03-20
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公开(公告)号： CN103176372B公开(公告)日： 2015-04-29
- 发明人: 高志山 , 王帅 , 叶井飞 , 成金龙 , 袁群
- 申请人： 南京理工大学
- 申请人地址： 江苏省南京市孝陵卫200号
- 专利权人： 南京理工大学
- 当前专利权人： 南京理工大学
- 当前专利权人地址： 江苏省南京市孝陵卫200号
- 代理机构： 南京理工大学专利中心
- 代理商 朱显国
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G03F1/84 ; G02B27/44 ; G01N21/956
摘要：
本发明公开了一种基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微检测装置，包括13.5nm极紫外光源、真空室、真空抽气泵、气浮光学隔振平台、极紫外CCD、五维精密微调整台、五维精密微调整台控制器、基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微光学组件；本发明结构简单，抗振性好，精度高，系统成本低。
公开/授权文献
- CN103176372A 基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微检测装置 公开/授权日：2013-06-26
IPC分类:
