一种硅基转接板的封装结构
摘要:
本发明涉及一种硅基转接板的封装结构,属于半导体封装技术领域。其包括硅基载体(1)、设置在硅基载体(1)四周的包封区域(2)、正面绝缘层(31)、背面绝缘层(32)、正面再布线金属层(41)、背面再布线金属层(42)、正面保护层(51)和背面保护层(52),并分别依次设置在硅基载体(1)和包封区域(2)的正反面,所述包封区域(2)内设置填充金属的通孔(21),所述正面再布线金属层(41)与背面再布线金属层(42)通过通孔(21)内金属连接。本发明硅基转接板的封装结构简单、封装成本低、产品成品率高。
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