一种利用活塞泵单元对液体脱气的方法和装置以及具有该装置的分析设备。该活塞泵单元具有用于容纳所要脱气的液体并且与至少一条供应线路和至少一条排放线路连接的接收腔室以及支承于接收腔室中的用于执行冲程运动的活塞，该活塞在一端对接收腔室进行液体密封。该方法包括以下步骤：通过在阻断排放线路并打开供应线路的情况下执行活塞的第一冲程运动而将液体经由供应线路抽入接收腔室中；通过在阻断供应线路并阻断排放线路的情况下继续活塞的第一冲程运动而在接收腔室中产生负压；打开排放线路并且通过在打开排放线路并阻断供应线路的情况下执行活塞与第一冲程运动方向相反的第二冲程运动而从接收腔室经由排放线路去除存在于接收腔室中的气相。