用于确定物体的污染的设备和方法
摘要:
本发明涉及一种用于确定具体是工件的物体的污染的设备(100)。所述设备(100)具有用于通过流体清洗去除聚集在单个物体(102)上的污物微粒(178)的清洗区(120)。所述设备(100)内具有收集单元(142),所述收集单元(142)包括至少一个用于捕获从各物体(102)清洗去除下来的污物微粒(178)的保持装置(168)。根据本发明,该设备(100)包括用于将通过所述至少一个保持装置(168)捕获的污物微粒(178)从各物体(102)移动到测量单元(170)的运输单元(152)。所述测量单元(170)用于测量从各物体(102)清洗去除的污物微粒(178)的至少一个物理参数。
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