流体产品的分配设备的表面处理方法
摘要:
本发明涉及流体产品分配设备的表面处理方法。该方法包括用多电荷且多能量的离子束通过离子植入对所述设备的至少一部分的至少一个待处理表面进行改性的步骤,改性的所述待处理表面具有抗摩擦性能。所述多电荷离子选自氦(He)、氮(N)、氧(O)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe),离子植入进行至0至3μm的深度。
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