用于在清洁过程之后干燥工件的设备
Abstract:
为了提供用于在清洁过程之后干燥工件的、包括用于真空干燥待干燥工件的真空室的设备,该设备使得待干燥工件的无再污染的干燥成为可能,本发明建议,该设备包括在真空室中通入的至少一个鼓风喷嘴,待干燥工件能够借助该至少一个鼓风喷嘴用鼓风介质加载。
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