可变环境下微纳传感器的自动加载平台
摘要:
本发明属于微纳器件标定测试的技术领域,具体是一种可变环境下微纳传感器的自动加载平台,解决了目前由于微纳器件,如压力传感器、加速度传感器等的特殊性,大多数的测试设备要求进行特定的环境测试、电气测、电气测试及机械测试。其包括传感器测试柜、自动加装子系统、控制子系统、数据网栅接口、高精度多通道数据采集板;所述控制子系统包括温度调整装置以及湿度调整装置、温度传感器和湿度传感器、轴上倾角传感器。本发明与现有的技术相比有如下优点:满足传感器多种参数的同时或分别测试需求,解决了以往只能实现环境单一变量测试的问题,适用于复杂环境测试场合;量实现标定、测试的高精度需求。
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