发明授权
- 专利标题: 可变环境下微纳传感器的自动加载平台
- 专利标题(英): Automatic loading platform of micro-nano sensor under variable environment
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申请号: CN201210569240.4申请日: 2012-12-25
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公开(公告)号: CN103048013B公开(公告)日: 2015-05-06
- 发明人: 谭秋林 , 梅林玉 , 刘文怡 , 张晓飞 , 丁利琼 , 熊继军 , 朱思敏 , 薛晨阳 , 张文栋 , 刘俊 , 石云波 , 郭涛 , 李建其
- 申请人: 中北大学
- 申请人地址: 山西省太原市学院路3号
- 专利权人: 中北大学
- 当前专利权人: 中北大学
- 当前专利权人地址: 山西省太原市学院路3号
- 代理机构: 太原晋科知识产权代理事务所
- 代理商 任林芳
- 主分类号: G01D18/00
- IPC分类号: G01D18/00 ; G01P21/00
摘要:
本发明属于微纳器件标定测试的技术领域,具体是一种可变环境下微纳传感器的自动加载平台,解决了目前由于微纳器件,如压力传感器、加速度传感器等的特殊性,大多数的测试设备要求进行特定的环境测试、电气测、电气测试及机械测试。其包括传感器测试柜、自动加装子系统、控制子系统、数据网栅接口、高精度多通道数据采集板;所述控制子系统包括温度调整装置以及湿度调整装置、温度传感器和湿度传感器、轴上倾角传感器。本发明与现有的技术相比有如下优点:满足传感器多种参数的同时或分别测试需求,解决了以往只能实现环境单一变量测试的问题,适用于复杂环境测试场合;量实现标定、测试的高精度需求。
公开/授权文献
- CN103048013A 可变环境下微纳传感器的自动加载平台 公开/授权日:2013-04-17