发明公开
- 专利标题: 温度调节装置及应用所述温度调节装置的压印装置
- 专利标题(英): Temperature adjusting device, and imprinting device using same
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申请号: CN201180030415.8申请日: 2011-07-20
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公开(公告)号: CN102958658A公开(公告)日: 2013-03-06
- 发明人: 河口宏辅 , 田中觉
- 申请人: SCIVAX股份有限公司
- 申请人地址: 日本神奈川县
- 专利权人: SCIVAX股份有限公司
- 当前专利权人: SCIVAX股份有限公司
- 当前专利权人地址: 日本神奈川县
- 代理机构: 隆天国际知识产权代理有限公司
- 代理商 赵根喜; 吕俊清
- 优先权: 2011-002613 2011.01.10 JP
- 国际申请: PCT/JP2011/066500 2011.07.20
- 国际公布: WO2012/096019 JA 2012.07.19
- 进入国家日期: 2012-12-20
- 主分类号: B29C33/02
- IPC分类号: B29C33/02 ; B29C59/02 ; H01L21/027
摘要:
本发明提供一种能将如模具或被成形物等对象物均匀且快速地加热及冷却的温度调节装置及应用所述温度调节装置的压印装置。所述温度调节装置是用于对如模具(100)或被成形物(200)等对象物的温度进行调节的温度调节装置,所述温度调节装置具有:流体供给单元(1),用于从多个供给口(11)供给预定温度的流体;保持单元(22),包含用于保持对象物的保持面(22a)和承接从供给口(11)供给的流体的流体承接面(22b);温度调节用框体(3),与保持单元(22)一同构成内含供给口(11)的温度调节室(31);及排出流路(4),用于排出温度调节室(31)内的流体。