一种全固态三基色激光器芯片及其制作方法
摘要:
本发明提供了一种全固态三基色激光器芯片及其制作方法。该全固态三基色激光器芯片包括构成层叠结构的第一波长激光器芯片、第二波长激光器芯片及第三波长激光器芯片;将去除衬底的第二波长激光器芯片与第一波长激光器芯片集成在一起,同样再将去除衬底的第三波长激光器芯片外延层与去除衬底的第二波长激光器芯片外延层集成在一起。本发明三基色激光器各波长芯片两电极间的电流、电压可分别控制,三波长的光混合产生白光。本发明的全固态三基色激光器芯片使用寿命长、稳定性好、体积小、发光效率高。
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