具有功率计算单元的气体激光装置
摘要:
具有功率计算单元的气体激光装置(1)具有:第一推算单元(11),其使用DC电源部(21)的输出电流值以及输出电压值和DC电源部(21)的从输入功率向输出功率的变换效率,计算向激光电源装置(20)的输入功率的推定值;第二推算单元(12),其使用驱动装置(23)的输出电流值,计算向驱动装置(23)的输入功率的推定值;和功率计算单元(13),其根据向激光电源装置(20)以及驱动装置(23)的各输入功率的推定值,计算气体激光装置(1)的消耗功率值。
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