软硬结合板等离子处理过程防铜箔膨胀的方法
摘要:
本发明提供了一种软硬结合板等离子处理过程防铜箔膨胀的方法,包括:贴胶带步骤,用于在层压前在软板区上贴一层聚酰亚胺胶带;层压步骤,用于采用覆箔法进行层压以便在软硬结合板上覆铜箔,其中在软板区上覆盖铜箔,并且铜箔直接和软板区的覆盖膜接触;铜箔蚀刻步骤,用于在层压后通过图形蚀刻方式蚀刻掉软板区上的铜箔;等离子处理步骤,用于执行等离子处理以实现去钻污;聚酰亚胺胶带去除步骤,用于去除聚酰亚胺胶带。根据本发明,通过层压前在软板区上贴一层耐高温的聚酰亚胺胶带保护软板区,并在层压后通过蚀刻方式去除软板区上的铜箔,使得等离子处理过程中不会出现铜箔膨胀,并且使覆盖膜不受损伤。
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