- 专利标题: 软硬结合板等离子处理过程防铜箔膨胀的方法
- 专利标题(英): Anti-expansion method of copper foil in plasma treatment process of rigid-flex board
-
申请号: CN201210453488.4申请日: 2012-11-13
-
公开(公告)号: CN102917548A公开(公告)日: 2013-02-06
- 发明人: 刘秋华 , 穆敦发 , 吴小龙 , 吴梅珠 , 徐杰栋 , 胡广群 , 梁少文
- 申请人: 无锡江南计算技术研究所
- 申请人地址: 江苏省无锡市滨湖区军东新村030号
- 专利权人: 无锡江南计算技术研究所
- 当前专利权人: 无锡江南计算技术研究所
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市滨湖区军东新村030号
- 代理机构: 北京众合诚成知识产权代理有限公司
- 代理商 龚燮英
- 主分类号: H05K3/00
- IPC分类号: H05K3/00 ; H05K3/36
摘要:
本发明提供了一种软硬结合板等离子处理过程防铜箔膨胀的方法,包括:贴胶带步骤,用于在层压前在软板区上贴一层聚酰亚胺胶带;层压步骤,用于采用覆箔法进行层压以便在软硬结合板上覆铜箔,其中在软板区上覆盖铜箔,并且铜箔直接和软板区的覆盖膜接触;铜箔蚀刻步骤,用于在层压后通过图形蚀刻方式蚀刻掉软板区上的铜箔;等离子处理步骤,用于执行等离子处理以实现去钻污;聚酰亚胺胶带去除步骤,用于去除聚酰亚胺胶带。根据本发明,通过层压前在软板区上贴一层耐高温的聚酰亚胺胶带保护软板区,并在层压后通过蚀刻方式去除软板区上的铜箔,使得等离子处理过程中不会出现铜箔膨胀,并且使覆盖膜不受损伤。
公开/授权文献
- CN102917548B 软硬结合板等离子处理过程防铜箔膨胀的方法 公开/授权日:2015-05-06