本发明公开了一种由四氯化硅制备三氯氢硅的冷氢化系统，所述系统包括供料设备、氢化反应器和尾气处理设备，所述供料设备将反应物料连续输送至所述氢化反应器，所述氢化反应器使反应气体和所述反应物料反应得到三氯氢硅，所述尾气处理设备包括依次连接的气体过滤装置、冷凝装置以及分离塔，所述气体过滤装置内设有陶瓷滤芯，所述冷氢化系统还包括热量回收利用装置。根据本发明实施例的冷氢化系统，由于采用设置有陶瓷滤芯的气体过滤装置，而陶瓷滤芯具有耐高温，耐腐蚀的优良特性，而且材质稳定，因此不会对多晶硅产品质量造成影响；且由于设置有热量回收利用装置，可以在物料运输过程中进行热量回收利用，降低能耗，减少环境污染。