发明授权
- 专利标题: 一种烤箱和可调式烘烤系统
- 专利标题(英): Oven and adjustable baking system
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申请号: CN201210326813.0申请日: 2012-09-06
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公开(公告)号: CN102799082B公开(公告)日: 2015-02-11
- 发明人: 杨光乾 , 康基善 , 陈聪文 , 伍浚铭 , 李巍
- 申请人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 代理机构: 深圳汇智容达专利商标事务所
- 代理商 潘中毅; 熊贤卿
- 主分类号: G03F7/38
- IPC分类号: G03F7/38 ; G03F7/40
摘要:
本发明提供一种烤箱和可调式烘烤系统。所述烤箱包括:信号接收模块,用于接收位于该烤箱上游的显影机向其发送的准备传输待烘烤的玻璃基板的准备传输信号;烘烤模块,用于对玻璃基板进行烘烤;侦测模块,用于侦测自动控制器是否在对所述烘烤模块中的玻璃基板执行取出操作;信号反馈模块,用于根据所述侦测模块的侦测结果决策是否向所述显影机发回反馈信号以指示所述显影机向其传输待烘烤的玻璃基板。实施本发明提供的烤箱和可调式烘烤系统,其可以对上游显影机传输待烘烤的玻璃基板的传片速度进行调节,不需要专门配备缓冲器,大大节省了设备成本,同样也可以调节烤箱的烘烤时间,从而提高烘烤效率。
公开/授权文献
- CN102799082A 一种烤箱和可调式烘烤系统 公开/授权日:2012-11-28
IPC分类: