发明授权
CN102789998B 检测方法及检测装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 检测方法及检测装置
- 专利标题(英): Inspecting method and inspecting equipment
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申请号: CN201210279973.4申请日: 2008-11-04
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公开(公告)号: CN102789998B公开(公告)日: 2015-02-11
- 发明人: 涂凯文 , 王仁宏 , 周宗贤 , 潘文森
- 申请人: 旺宏电子股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号
- 专利权人: 旺宏电子股份有限公司
- 当前专利权人: 旺宏电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 任岩
- 优先权: 12/174,063 2008.07.16 US
- 分案原申请号: 2008101691904 2008.11.04
- 主分类号: H01L21/66
- IPC分类号: H01L21/66
摘要:
本发明公开了一种检测方法及检测装置。该检测方法用以检测一圆盘,包括:由多个区域提供多个测量位置组,该多个区域是通过根据一半径平方参数及一圆心角参数分割对应于该圆盘的一坐标平面而形成;利用抽出不放回的方式,由该多个测量位置组中取出多个测量位置组,以组成一个测量位置组集合;以及依照取出的该测量位置组集合检测该圆盘。该检测装置包括:一取出单元,用以由多个测量位置组中利用抽出不放回的方式取出多个测量位置组,以组成一个测量位置组集合,该多个测量位置组是由根据一半径平方参数及一圆心角参数分割对应于该圆盘的一坐标平面而形成的多个区域所获得;以及一检测单元,用以依照取出的该测量位置组集合检测该圆盘。
公开/授权文献
- CN102789998A 检测方法及检测装置 公开/授权日:2012-11-21
IPC分类: