洗净液组成物及基板的洗净方法
摘要:
本发明涉及一种洗净液组成物及基板的洗净方法,特别是提供一种针对玻璃基板,具有生物分解性佳、高温安定性佳的洗净液组成物,包含:碱性化合物(A)、化合物(B)、支链型界面活性剂(C)以及水(D);其中,化合物(B)是具有下述结构式(1)或结构式(2)的化合物; 其中,R1表示氢原子、碳数1~6的含直链、支链或环状的烷基;R2表示碳数1~12的含直链、支链或环状的烷基;EO表示乙氧基;PO表示丙氧基;(m+n)的平均值为1~30;(p+q)的平均值为0.5~10。支链型界面活性剂(C)的结构式为R3-O-(EO)a(PO)b-H,其中,R3表示碳数6~20的含支链的烷基、烯基或酰基,或碳数12~20的含支链烷基取代的苯基;EO表示乙氧基;PO表示丙氧基;a表示1~20的整数;b表示0~20的整数。
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