发明授权
- 专利标题: 洗净液组成物及基板的洗净方法
- 专利标题(英): Detergent remover component and cleaning method of substrate
-
申请号: CN201210145258.1申请日: 2012-05-11
-
公开(公告)号: CN102787035B公开(公告)日: 2013-12-11
- 发明人: 蔡宇杰 , 谢依纯
- 申请人: 奇美实业股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾台南市仁德区三甲里三甲子59-1号
- 专利权人: 奇美实业股份有限公司
- 当前专利权人: 奇美实业股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾台南市仁德区三甲里三甲子59-1号
- 代理机构: 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 胡红芳
- 优先权: 100117503 2011.05.18 TW
- 主分类号: C11D10/02
- IPC分类号: C11D10/02
摘要:
本发明涉及一种洗净液组成物及基板的洗净方法,特别是提供一种针对玻璃基板,具有生物分解性佳、高温安定性佳的洗净液组成物,包含:碱性化合物(A)、化合物(B)、支链型界面活性剂(C)以及水(D);其中,化合物(B)是具有下述结构式(1)或结构式(2)的化合物; 其中,R1表示氢原子、碳数1~6的含直链、支链或环状的烷基;R2表示碳数1~12的含直链、支链或环状的烷基;EO表示乙氧基;PO表示丙氧基;(m+n)的平均值为1~30;(p+q)的平均值为0.5~10。支链型界面活性剂(C)的结构式为R3-O-(EO)a(PO)b-H,其中,R3表示碳数6~20的含支链的烷基、烯基或酰基,或碳数12~20的含支链烷基取代的苯基;EO表示乙氧基;PO表示丙氧基;a表示1~20的整数;b表示0~20的整数。
公开/授权文献
- CN102787035A 洗净液组成物及基板的洗净方法 公开/授权日:2012-11-21