本发明涉及一种含臭氧的废气处理方法，废气处理方法采用废气处理装置处理含臭氧的废气，废气处理装置包括分解塔、吸收塔和催化塔，三塔依次由下至上合为一体；废气通过废气进口进入分解塔，分解塔的温度控制为800C -2600C，受热分解后，通过中央导气管下段进入吸收塔；分解后的废气经过吸收塔气体分布器和喷淋装置之后，依次通过中央导气管上段、催化塔气体分布器进入催化塔，经过催化作用，从净气出口排出。本发明处理效果显著，对臭氧具有很好的分解、吸收和催化的破坏能力，并且节省占地，降低能耗，降低成本，具有较强的应用效果。