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半导体气体的制造方法
Abstract:
本发明公开了一种单氟甲烷的制造方法,该方法至少具有:使1-甲氧基-1,1,2,2-四氟乙烷与催化剂接触进行热分解的热分解工序、以及从热分解产物中回收单氟甲烷的工序。通过该方法,可以实用且高效地制造基本上不含氟之外的卤素的单氟甲烷。
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