微机电装置的覆盖构件及其制法
摘要:
本发明公开一种微机电装置的覆盖构件及其制法,该微机电装置的覆盖构件包括:核心板,具有第一及第二表面,且该第一表面上具有第一黏着层,并具有贯穿该第一黏着层、第一及第二表面的开口,而部分第二表面上具有第二黏着层;封口板,结合于该第一黏着层上,以封住该开口的一端,并使该封口板的部分表面露出于该开口中;通孔,贯穿该封口板、第一与第二黏着层及核心板;以及电镀金属层,设于该第二黏着层的外露表面、通孔的孔壁及封口板的外露表面上,借由各处的电镀金属层电性连通,使微机电装置与该覆盖构件之间具有良好的电磁匹配性,以达成屏蔽效应。
公开/授权文献
0/0