一种投影光刻物镜，把物面的图像聚焦成像在像面上，从物面开始沿光轴依次包括：一具有正光焦度的第一透镜组G11；一具有负光焦度的第二透镜组G12；一具有正光焦度的第三透镜组G13；以及一具有负光焦度的第四透镜组G14；其中，所述透镜组G11、G12、G13、G14满足以下关系：0.09＜|f2/f1|＜0.250.09＜|f3/f4|＜0.250.90＜|f3/f2|＜1.1其中：f1：第一透镜组G11的焦距；f2：第二透镜组G12的焦距；f3：第三透镜组G13的焦距；f4：第四透镜组G14的焦距。本发明以较少数量的镜片，不包含非球面的简单结构，能够实现所需的微米级的分辨率，并且校正同等视场范围内畸变、像散、色差，为物方及像方留有更大的工作距离。