一种高热导率电子封装材料
摘要:
本发明涉及一种高热导率电子封装材料,通过下述步骤制得:1)选择粒度为18~23μm的金刚石,粒度为40~45μm、纯度在99.99%的硅粉作为初始材料,并且添加钛粉和氮化铝作为烧结促进剂;金刚石、硅粉、钛粉、氮化铝的重量份数比为19.6~30.4:27.2~33.3:0.53~0.93:0.5~1.3;2)将上述组分充分混合均匀后;3)选择φ20mm的石墨模具,将上述混合物装入石墨容器并放入放电等离子烧结炉;4)在放电等离子烧结炉抽真空,当真空度达到12~15Pa以下开始快速烧结;5)烧结过程中所加压力为35~39MPa,升温速度为80~120℃/分钟,烧结温度设定为1280~1320℃,达到烧结温度后保持4-5分钟,并在真空或惰性气体环境下烧结;6)烧结结束后对产品进行随炉冷却并在900-950℃时卸掉压力。本发明的有益效果在于,设备和工艺简单、合成温度低,并且最大程度地提高产品致密度、减少产品微裂纹,产品的热导率高,综合性能良好。
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