发明授权
- 专利标题: 用于气体流量控制的方法和设备
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申请号: CN201080046178.X申请日: 2010-10-15
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公开(公告)号: CN102687087B公开(公告)日: 2016-08-24
- 发明人: A·J·蒙科夫斯基 , J·M·查默斯 , 陈嘉陵 , 丁韬 , J·R·蒙科夫斯基
- 申请人: 关键系统公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚
- 专利权人: 关键系统公司
- 当前专利权人: 关键系统公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 陈松涛; 王英
- 优先权: 61/252,143 2009.10.15 US
- 国际申请: PCT/US2010/052974 2010.10.15
- 国际公布: WO2011/047361 EN 2011.04.21
- 进入国家日期: 2012-04-13
- 主分类号: G05D7/06
- IPC分类号: G05D7/06 ; F16K1/16
摘要:
一种用于气体流量的自校准控制的方法和设备。一开始通过将节流装置的开放量控制到高精确度来设置气体流率,其中包含节流装置的设备设计使其能够实现高精确度。然后通过节流装置上游的压力下降速率来测量气体流率,如果需要,调节节流装置的开放量以获得精确的期望流量。
公开/授权文献
- CN102687087A 用于气体流量控制的方法和设备 公开/授权日:2012-09-19