Invention Publication
- Patent Title: 基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜
- Patent Title (English): Multiple-degree-of-freedom near-field optical microscope based on micro-nano motion arm
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Application No.: CN201210119169.XApplication Date: 2012-04-20
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Publication No.: CN102662086APublication Date: 2012-09-12
- Inventor: 王瑞 , 谢亮 , 祝宁华
- Applicant: 中国科学院半导体研究所
- Applicant Address: 北京市海淀区清华东路甲35号
- Assignee: 中国科学院半导体研究所
- Current Assignee: 中国科学院半导体研究所
- Current Assignee Address: 北京市海淀区清华东路甲35号
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 汤保平
- Main IPC: G01Q60/18
- IPC: G01Q60/18

Abstract:
一种基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜,包括:一微纳操作臂;一石英音叉固定于微纳操作臂的前端;一近场光纤探针固定于石英音叉的一个音叉臂上;一样品扫描台位于石英音叉的下方;一正弦信号发生器的信号输出端与石英音叉的输入端相连接;一前置锁相放大器的输入端与石英音叉的输出端相连接;一控制箱其输入端与前置锁相放大器的输出端连接,其一输出端与微纳操作臂的输入端相连接,另一输出端与样品扫描台的输入端相连接;一探测器和/或光源,该探测器和/或光源与近场光纤探针相连接。其既具有超衍射极限的光学分辨能力,同时又具有大范围移动的灵活性和多自由度操作能力,占用空间小,非常便于与其他显微表征手段相结合。
Public/Granted literature
- CN102662086B 基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜 Public/Granted day:2014-04-23
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