一种非晶氧化物薄膜晶体管及其制作方法、显示面板
摘要:
本发明实施例公开了一种非晶氧化物薄膜晶体管及其制作方法、显示面板,涉及薄膜晶体管及显示面板的设计和制备领域,用以降低源漏极的寄生电阻。所述非晶氧化物薄膜晶体管,在基板上包括:栅极、栅绝缘层、半导体有源层、源极、漏极以及钝化保护层,并且所述半导体有源层为沟道层和欧姆接触层的双层结构,所述沟道层比所述欧姆接触层的含氧量高;另外,所述沟道层与所述栅绝缘层相贴合,所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区,且所述两个独立的欧姆接触区分别与所述源极、漏极相贴合。
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