发明授权
- 专利标题: 一种气动热压装置
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申请号: CN201210122124.8申请日: 2012-04-24
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公开(公告)号: CN102655099B公开(公告)日: 2014-10-29
- 发明人: 尹周平 , 陈建魁 , 徐洲龙 , 熊有伦
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 李智
- 主分类号: H01L21/603
- IPC分类号: H01L21/603
摘要:
本发明公开了一种气动热压装置,包括支架,支架上固定有下热压板,下热压板的上方和下方分别设有上热压板和活塞缸转接板,上热压板、下热压板和活塞缸转接板依次通过导柱连接形成一个整体运动组件;上热压板的下表面安装有上热压头;下热压板的上表面安装有能横向移动的滑动组件,滑动组件上安放有下热压头,靠近下热压头处设有锁紧下热压头的紧定组件;活塞缸转接板的上表面安装有活塞缸,活塞缸的伸出轴连接下热压板的下表面,活塞缸转接板的下表面面接触缓冲组件。本发明具有压力均衡、加热快速均匀、对准精度高和工作长效可靠的特点,适用于较大面积片材与片材或片材与薄膜等的热压叠层或复合工况。
公开/授权文献
- CN102655099A 一种气动热压装置 公开/授权日:2012-09-05
IPC分类: