导电接合材料、接合导体的方法以及制造半导体器件的方法
摘要:
本发明提供一种导电接合材料、接合导体的方法及制造半导体器件的方法,所述导电接合材料包括如下的金属组分:高熔点金属粒子,其具有第一熔点或更高的熔点;中熔点金属粒子,其具有第二熔点,所述第二熔点为第一温度或更高以及第二温度或更低,所述第二温度低于第一熔点且高于第一温度;以及低熔点金属粒子,其具有第三熔点或更低的熔点,所述第三熔点低于第一温度。
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