发明公开
- 专利标题: 导电接合材料、接合导体的方法以及制造半导体器件的方法
- 专利标题(英): Electroconductive bonding material comprising three types of metal particles with different melting points and its use for bonding an electronic component to a substrate
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申请号: CN201210035680.1申请日: 2012-02-16
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公开(公告)号: CN102642095A公开(公告)日: 2012-08-22
- 发明人: 山上高丰 , 久保田崇 , 石川邦子 , 北嶋雅之
- 申请人: 富士通株式会社
- 申请人地址: 日本神奈川县
- 专利权人: 富士通株式会社
- 当前专利权人: 富士通株式会社
- 当前专利权人地址: 日本神奈川县
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 蔡胜有; 吴鹏章
- 优先权: 2011-031643 2011.02.17 JP
- 主分类号: B23K35/24
- IPC分类号: B23K35/24 ; B23K35/36 ; B23K1/00 ; H01L23/488 ; H01L21/60
摘要:
本发明提供一种导电接合材料、接合导体的方法及制造半导体器件的方法,所述导电接合材料包括如下的金属组分:高熔点金属粒子,其具有第一熔点或更高的熔点;中熔点金属粒子,其具有第二熔点,所述第二熔点为第一温度或更高以及第二温度或更低,所述第二温度低于第一熔点且高于第一温度;以及低熔点金属粒子,其具有第三熔点或更低的熔点,所述第三熔点低于第一温度。
IPC分类: