Invention Grant
- Patent Title: 一种薄膜晶体管液晶显示器阵列基板的制造方法
- Patent Title (English): Manufacturing method of TFT (thin film transistor)-LCD (liquid crystal display) array substrate
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Application No.: CN201110149897.0Application Date: 2011-06-03
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Publication No.: CN102637631BPublication Date: 2014-07-23
- Inventor: 刘宸 , 王学岚 , 杨久霞
- Applicant: 京东方科技集团股份有限公司
- Applicant Address: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- Assignee: 京东方科技集团股份有限公司
- Current Assignee: 京东方科技集团股份有限公司
- Current Assignee Address: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- Agency: 北京派特恩知识产权代理有限公司
- Agent 张颖玲; 孟桂超
- Main IPC: H01L21/77
- IPC: H01L21/77 ; G02F1/1362 ; G02F1/1368 ; H01L27/12

Abstract:
本发明公开了一种薄膜晶体管液晶显示器TFT-LCD阵列基板的制造方法,该方法包括:步骤a,通过第一次构图工艺在基板上形成栅线及栅电极;步骤b,通过第二次构图工艺形成数据线、绝缘层、有源层、源电极、漏电极、TFT的沟道,并在第一钝化层形成过孔;步骤c,通过第三次构图工艺形成像素电极;步骤d,通过第四次构图工艺形成第二钝化层及有间隔的公共电极。本发明同时公开了一种TFT-LCD阵列基板,采用本发明的方法及阵列基板,能减少生产设备的投入,进而能减少生产成本;同时,还能减少生产时间,进而提高生产效率。
Public/Granted literature
- CN102637631A 一种薄膜晶体管液晶显示器阵列基板及其制造方法 Public/Granted day:2012-08-15
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