本发明涉及具有机电马达的粒子加速器以及操作和制造该粒子加速器的方法。具体而言，一种粒子加速器(102)，包括配置成在加速腔(206)内沿着期望的路径引导带电粒子的电场系统(106)和磁场系统(108)。粒子加速器还包括位于加速腔内的机械装置(280、282)。机械装置配置成被选择性地移动至加速腔内的不同位置。粒子加速器还包括机电(EM)马达(290、292)，该机电马达(290、292)具有连接构件(456)和可操作地联接至该连接构件的压电元件(512)。连接构件可操作地附接至机械装置。当压电元件被激活时，EM马达驱动连接构件，从而移动机械装置。